離子減薄儀適用性廣泛，對金屬、非金屬、半導體、礦物、骨骼和牙齒等幾乎所有固體材料都可以用離子減薄技術來制備透射薄膜樣品。 離子減薄儀中的稀薄氣體氬氣，在高壓電場作用真空環境下，氬離子穿過盤狀陰極中心孔時，受到加速與聚焦后產生高能粒子束轟擊樣品表面，高能離子與樣品表面發生彈性碰撞，樣品表面原子能量增大高于該原子的逸出功時，便飛離樣品，這樣就使樣品表面不斷失去原子，達到減薄的效果。
 

　　離子減薄儀的規范操作：
 

　　一.開機程序
 

　　1.裝換樣品：樣品室放氣，取下頂蓋，將預減薄的樣品裝入樣品架后，封頂蓋，關嚴放氣閥。
 

　　2.啟動機械泵，慢旋開V4閥，開真空計電源。
 

　　3.預抽真空達到100Pa時，打開V5閥，并開V1閥，關閉V4閥。
 

　　4.通冷卻循環水，開分子泵，略遲開啟動開關。
 

　　5.樣品室真空抽至2×10-3Pa時，調樣品轉動刻度盤至適當位置，啟動樣品轉動開關。
 

　　6.啟動高壓轟擊開關，將高壓調至4~5KV。
 

　　7.緩慢旋開氬氣微調閥，使之達到正常工作狀態，即高壓4~5kv，回路電流≤0.8mA，開始減薄。
 

　　二.關機程序
 

　　1.關氬氣，退下高壓，關高壓轟擊開關。關樣品轉動。
 

　　2.關閉分子泵停止開關，關閉真空計電源。
 

　　3.關閉V2閥，關V5閥，關V1閥。
 

　　4.停機械泵，關電源開關，關閉冷卻水。